在電子半導體高端制造流程中，晶圓清洗是提升晶圓良率的關鍵工序，而清洗槽液位的精準檢測與把控，更是維系這一工序穩定性的核心環節。液位的細微偏差，不僅會直接影響清洗效果，更可能造成晶圓損壞，進而影響整條產線的生產效率與產品品質。

堡盟(Baumer)深耕工業傳感領域多年，精準把握電子半導體行業的實際應用需求，量身打造 UR18 系列超聲波傳感器解決方案，完美適配晶圓上下料設備的清洗槽液位檢測場景，以專業傳感技術破解行業檢測難題，成為該應用場景的優選方案。

行業檢測痛點突出

傳統方案難達要求

當前電子半導體行業的晶圓清洗槽液位檢測環節，傳統檢測方案仍存在諸多難以規避的痛點，成為制約生產的關鍵問題。

● 其一，檢測易受環境干擾，清洗過程中產生的液體氣泡、液面波動，極易導致傳統檢測設備精度不足，出現液位誤判，直接影響清洗工藝穩定性；

● 其二，設備適配性差，不同產線、不同工藝的晶圓清洗槽規格多樣，傳統檢測設備無靈活調節設計，需頻繁更換型號，不僅增加設備采購成本，更降低產線運維效率；

● 其三，性價比失衡，部分能滿足精度要求的檢測產品價格居高不下，而平價產品又難以達到工業級檢測標準，行業客戶難以兼顧性能需求與成本控制。

UR18 系列三大優勢

直擊核心檢測需求

專為電子半導體行業晶圓上下料設備設計的堡盟 UR18系列超聲波傳感器，憑借三大核心優勢，精準解決行業痛點，成為電子半導體客戶的優選。

01、遠距檢測且精度出眾，采用非接觸式超聲波檢測原理，完全擺脫清洗液氣泡、液面波動的干擾，既能滿足清洗槽的安裝空間要求實現遠距離檢測，又能精準捕捉液位細微變化，為清洗工藝筑牢穩定防線。

02、可變聲錐設計靈活適配，可根據不同清洗槽大小自由調節聲束角，一臺設備即可適配多種規格清洗槽，無需頻繁換型，大幅提升設備適配性與產線效率。

03、高性價比兼顧品質與成本，傳感器采用堅固結構設計，可耐受電子半導體車間的嚴苛生產環境，降低設備故障率與后期運維成本，讓客戶以更優成本獲得瑞士品質的專業傳感體驗。

多產品組合拳

覆蓋晶圓加工關鍵工序

堡盟為電子半導體行業的賦能，并非局限于晶圓清洗槽液位檢測單一應用場景，更依托豐富的產品矩陣，打造一站式傳感解決方案，形成產品組合拳全面覆蓋晶圓加工關鍵工序。其中：

● IFFM 08 可實現晶圓加工過程中的精準定位檢測，為晶圓上下料、傳輸等環節提供可靠的位置反饋；

● OM20/30 則精準適配晶圓高度檢測需求，以高精度測量保障各工序的位置控制。

從液位檢測到定位、高度檢測，堡盟多系列產品協同發力，助力行業客戶充分挖掘生產潛力，實現產線效率全方位升級。

全球技術 + 本土落地

賦能半導體產業發展

作為全球領先的工業傳感專家，堡盟始終秉持 “全球技術 + 本土落地” 的核心理念，深耕中國市場，精準把握電子半導體產業核心區域的客戶需求。

針對晶圓加工的各類檢測需求，堡盟從產品精準選型到應用方案定制化設計，專業技術團隊全程跟進，為行業客戶提供全周期技術支持，確保產品性能在實際應用中最大化發揮。

未來，堡盟將持續聚焦電子半導體等高端制造領域的技術需求，以創新為驅動、以品質為基石，不斷研發升級傳感技術、豐富產品矩陣，打造更多貼合行業實際的解決方案，憑借深耕行業的經驗與專業的技術服務，持續賦能中國電子半導體產業高質量發展，以感知之力，成為高端制造領域的可靠傳感伙伴。

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堡盟集團

堡盟集團是國際領先的工廠自動化和過程自動化生產廠家之一。目前堡盟集團的足跡已遍布全球19個國家并擁有40家分公司。堡盟集團的產品業務主要涉及傳感器、運動控制、視覺技術、過程儀表和粘膠系統，其豐富的產品線覆蓋在各個行業并使客戶受益于堡盟所提供的完整咨詢和可靠服務的國際平臺。更多信息，請登陸  www.baumer.com。